5nm芯片无需光刻机！中国科技公司已申请制造专利

【手机中国新闻】9月15日，手机中国注意到，天眼查App显示，上海创消新技术发展有限公司申请的“5纳米芯片制造的直接蚀刻方法”专利公布。摘要显示，该发明涉及芯片设计及制造，方案是：按5nm蚀刻线宽设计芯片版图，设计蚀刻掩模版后，用激光直写光刻机刻出蚀刻掩模版；晶圆准备好后将蚀刻掩模版紧靠晶圆上表面，用等离子体进行干法蚀刻，蚀刻结束后移去蚀刻掩模版，清洁晶圆，进行后续常规的芯片制造步骤。这项发明的亮点在于，不用EUV光刻机或DUV光刻机，不需要光刻过程，直接蚀刻就可以制造5纳米芯片。

天眼查显示，上海创消新技术发展有9556991限公司成立于636398382019年3月，法定代表人为刘明革，注册资本50万人民币，经营范围包括电子技术、化工技术、建筑技术、生物技术领域内的70177693技术开发等87697976，由刘明革和刘佳慧共同持股。

未来几年，我17579136们期待上海创消新技术发展有86802324限公司能够在79908848芯片制造领域取得更多的14603698突破性成果，并将这项新技术推向27942646商业化阶段。【粉丝网】#红与白#对于整个半导体行业来说，这种创新技术的52442827出现无疑带来了18066846新的39849066希望和动力，推动行业不断向36604327前发展，迈向更先进的80235917制造工艺和18783304更广阔的82866159应用领域。#林依晨演过哪些电影#尽管目前这项技术还处于12058169实验室阶段，但27057031是其潜在50925731的13443608影响力不容忽视。